Th05A
¿­ ¹× ¹°ÁúÀü´Þ(III)
ÁÂÀå : ÁÖ¿µÈ¯(¿¡±â¿¬) 08:40~09:40
Th05A-1
¿­Àû ¾ÈÁ¤¼ºÀ» °¡Áø N-Heterocyclic Carbene ÀÚ°¡ Á¶¸³ ³ª³ëÃþÀ» ÀÌ¿ëÇÑ 3D º»µù
ÀüÁ¾¿µ, ÀÌÁøÇü, ¿ì°ÇÈÄ, À̽Âȯ, ½ÅÇý¸², ±è°ÇÇü, ±èżº(¼º±Õ°ü´ëÇб³)
Th05A-2
±¸¸® CMP °øÁ¤¿¡¼­ ¿Âµµ°¡ ¹ÌÄ¡´Â ¿µÇâ
ÀÌÇöÁ¤, ·ùÆãÀÜ, ¹Ú丰, À̼®Âù, ±èżº(¼º±Õ°ü´ëÇб³)
Th05A-3
A Study on Amorphous Carbon Chemical Mechanical Polishing in Achieving a High Removal Rate
WANG ZIYANG, LIU PENGZHAN, À̽Âȯ, ÀÌÁøÇü, ±èżº(¼º±Õ°ü´ëÇб³)
Th05A-4
ÁßÀú¾Ð ½ºÆÀ °ÇÁ¶ °øÁ¤ÀÇ ¿­È¿À² °³¼±À» À§ÇÑ È÷Æ®ÆßÇÁ Àû¿ë ¹æ¾È ¿¬±¸
¼­±âÁ¤, ±è¼Ò¿¬, ¼ÛÁö¿ø, ³ëÇö±Ô, Á¤¿¬ÅÂ, ÀÓ¿¬¿ì, ±è¹Î¼º(Áß¾Ó´ëÇб³)
Th05A-5
¼ö¼Ò È¥¼Ò °¡½ºÅͺóÀÇ ºÎºÐºÎÇÏ ¿îÀüÀ» À§ÇÑ Á¦¾î °î¼± µµÃâ
Á¤ÁöÈÆ(ÀÎÇÏ´ëÇб³), ±èµ¿¼·(ÀÎÇÏ´ëÇб³ ±â°è°øÇаú)

(»ç)´ëÇѱâ°èÇÐȸ
´ëÇ¥ÀÚ: ±èµ¿È¯ °íÀ¯¹øÈ£ : 220-82-01671 [06130] ¼­¿ï½Ã °­³²±¸ Å×Çì¶õ·Î 7±æ 22 Çѱ¹°úÇбâ¼úȸ°ü 1°ü 702È£,
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