세션 트랙

Fr03A

공정 열공학(I)

좌장 : 이승현(GIST)

08:40~09:40

Fr03A-1

이트리아 박막 조도 개선 공정을 위한 화학적 기계적 연마 슬러리 최적화

유다영, 이재원(성균관대학교), 조성모(KoMiCo), 박채린(성균관대학교), 박호준(서울시립대학교 과학기술대학원), 이연주(KoMiCo), 김현식(서울시립대학교 과학기술대학원), 김태성(성균관대학교)

Fr03A-2

차원축소를 이용한 플라즈마 식각 공정의 비행시간 질량분석 데이터 해석

장성규, 최가인, 김지훈, 최종현, 김선길, 이우성, 김형근(한국전자기술연구원)

Fr03A-3

Mixed Three-Gas Based RIE Etching for Atomic Layer Control of WS₂

김성호(한국기계연구원/충남대학교), 석현호(성균관대학교), 강민지(한국기계연구원/충남대학교), 안병선(한국에너지기술연구원), 강우석(한국기계연구원), 김태성(성균관대학교), 최민섭(충남대학교), 김형우(한국기계연구원/과학기술연합대학원대학교)

Fr03A-4

플라즈마 식각 공정 3종 진단 결과 기반 CycleGAN 예측 모델

강민지(한국기계연구원), 장성규, 김지훈(한국전자기술연구원), 김성호(한국기계연구원), 김창민(삼성전자), 이효창(한국항공대학교), 강우석(한국기계연구원), 최민섭(충남대학교), 김형근(한국전자기술연구원), 김형우(한국기계연구원)