세션 트랙

Th03B

마이크로/바이오시스템(II)

좌장 : 송지현(단국대)

09:50~10:50

Th03B-1

극자외선 고차조화파의 능동 빔 형상 제어 및 고분해능 반도체 미세패턴 선폭측정을 위한 심자외선 구조화빔 생성

원승재, 김정윤, 김태원, 최승만(한국과학기술원), 김병기(Tokyotech), 김승우, 김영진(한국과학기술원)

Th03B-2

Nanometer-Resolution White-Light Scanning Interferometry for Surface-Profiling of Hybrid Bonding Samples for Advanced Semiconductor Packaging

Chu Huy Hoang(한국과학기술원 (KAIST)), 김대희, 박준형(한국과학기술원), 김영진(KAIST)

Th03B-3

반도체 패키징 내 고단차 및 범프 측정을 위한 광 빗 기반 다파장 간섭계

박준형, 김대희(한국과학기술원), Chu Huy Hoang(한국과학기술원 (KAIST)), 김영진(KAIST)

Th03B-4

자연에서 유래한 재료를 사용한 구조물의 설계 자동화

강성구(한국 항공대학교)