세션 트랙

Th11E

마이크로 전문가리뷰/마이크로/나노 재료 및 역학(II)

좌장 : 이진기(성균관대)

Th11E-1

표면개질기술의 상용화

고종수(부산대학교)

Th11E-2

패드의 hardness에 따른 Shallow trench isolation chemical mechanical planarization에서 patten wear에 대한 영향

곽동건, 김주환, 김태성(성균관대학교)

Th11E-3

Exploring surface corrugations on CVD bi-layer graphene

박선하, 최민기, 김석준, 김송길(부산대학교)

Th11E-4

DNA 오리가미 나노구조체의 기계화학적 변형을 이용한 플라스모닉 나노입자의 카이랄 배열 조절 기술

김태휘, 이찬석, 이재영, 김도년(서울대학교)