Fr01E
[특별세션] 플라즈마응용기술(I)
좌장 : 김형우(기계연)
Fr01E-1
플라즈마의  대기오염 방지 기술 적용 사례와 전망
이대훈, 강홍재, 김유나, 송호현, 이희수, 최정안, 김관태, 송영훈(한국기계연구원)
Fr01E-2
반도체 식각공정에서의 플라즈마를 이용한 라디칼과 이온의 발생과 활용
채희엽(성균관대학교)

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