세션 트랙

Fr01E

[특별세션] 플라즈마응용기술(I)

좌장 : 김형우(기계연)

Fr01E-1

플라즈마의 대기오염 방지 기술 적용 사례와 전망

이대훈, 강홍재, 김유나, 송호현, 이희수, 최정안, 김관태, 송영훈(한국기계연구원)

초록 논문

Fr01E-2

반도체 식각공정에서의 플라즈마를 이용한 라디칼과 이온의 발생과 활용

채희엽(성균관대학교)

초록 논문

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