Th01B
Session 3A ¸ÖƼÇÇÁ÷½º/¸ÖƼ½ºÄÉÀÏ II
ÁÂÀå : ¹®ÀåÇõ 10:45~12:15
½Ç½Ã°£ ¿Â¶óÀÎ ¼¼¼Ç Âü°¡ (Zoom)
Th01B-1
»êÀÇ ºÐÆ÷ ¹× ³óµµ°¡ EUV ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ °øÁ¤ÀÇ ÆÐÅÏ¿¡ ¹ÌÄ¡´Â ¿µÇâ: ¸ÖƼ½ºÄÉÀÏ Àü»ê ¸ð»ç ¿¬±¸
¹ÚÈ£Çö, ±èÅ°â, ÀÌÇü¿ì, ¹Ú¼º¿ì(¼­¿ï´ëÇб³ ±â°è°øÇкÎ), ±è¹«¿µ(Çѱ¹±â°è¿¬±¸¿ø), À̺´ÈÆ(»ï¼ºÀüÀÚ), Á¶¸ÍÈ¿(¼­¿ï´ëÇб³ ±â°è°øÇкÎ)
Th01B-2
ºÐÀÚµ¿¿ªÇÐ ±â¹Ý ¼Ò°á °øÁ¤ Àü»ê¸ð»ç¸¦ ÅëÇÑ ÀÌÁ¾±Ý¼Ó Äھ© ³ª³ë ÀÔÀÚÀÇ Àç·á Á¶¼º¿¡ µû¸¥ ±â°èÀû Ư¼º ¿¬±¸
±èÁÖÇå, Á¤ÇÏ¿µ(UNIST(¿ï»ê°úÇбâ¼ú¿ø))
Th01B-3
Àº ³ª³ë¿ÍÀ̾îÀÇ ·¹ÀÌÀú Àü»ç °øÁ¤¿¡¼­ ¹ß»ýÇÏ´Â ±ÁÈû °Åµ¿°ú ±â°èÀû Ư¼º¿¡ ´ëÇÑ ºÐÀÚµ¿¿ªÇÐ ¿¬±¸
°­¹Î¼®(ÇѾç´ëÇб³ ´ëÇпø), ÃÖÁظí(ÇѾç´ëÇб³)
Th01B-4
ź¼Ò³ª³ëÆ©ºê ¼¶À¯ ±â¹Ý ¿¡³ÊÁö ÇϺ£½ºÅÍÀÇ ´Ü¸é ÇÏÁß ÇÏ ³»ºÎ Ç¥¸éÀû ¼öÃà Ư¼º¿¡ ´ëÇÑ ºÐÀÚµ¿¿ªÇÐ ¿¬±¸
°íº´È­(ÇѾç´ëÇб³), ±è°ÇÁß, ±è½ÃÇü(Çѱ¹»ý»ê±â¼ú¿¬±¸¿ø), ÃÖÁظí(ÇѾç´ëÇб³)
Th01B-5
¸ñÇ¥ ÁÖÆļö ¸ÂÃãÇü ¾ÐÀü °áÇÔ Àΰ¡ À½Çâ¾çÀÚ °áÁ¤ ¼³°è
Á¶¼öÈ£, À±º´µ¿(¼­¿ï´ëÇб³)
Th01B-6
Ãø¸é ¹æÇâ º¯ÇüÀ» °í·ÁÇÑ ¾ÐÀü °áÇÔ Àΰ¡ À½Çâ¾çÀÚ °áÁ¤ÀÇ ¼öÈ® Àü·Â ¿¹Ãø ¸ðµ¨ °³¹ß
Á¶¼öÈ£, À±º´µ¿(¼­¿ï´ëÇб³)
ÈÄ¿ø

(»ç)´ëÇѱâ°èÇÐȸ
´ëÇ¥ÀÚ: ÃÖÇØõ °íÀ¯¹øÈ£ : 220-82-01671
[06130] ¼­¿ï½Ã °­³²±¸ Å×Çì¶õ·Î 7±æ 22 Çѱ¹°úÇбâ¼úȸ°ü ½Å°ü 702È£,
Tel : (02) 501 - 3646, 3647, 3648, 5305, 5035, 6046, 6056, 6061 FAX:(02) 501-3649 E-mail : ksme@ksme.or.kr