세션 트랙

We10A

공정 열공학

좌장 : 김회준(DGIST)

13:30~14:30

We10A-1

열 ALD로 성장된 초박막 HfZrO₂박막을 이용한 FeFET 기반 AI 컴퓨 팅 메모리

조예인, 김건욱(성균관대학교), 석현호(메사추세츠공과대학교), 하주환, 김태성(성균관대학교)

We10A-2

몰리브덴 CMP 공정에서 온도에 따른 금속 리세스 거동 분석

박채린, 전우경, 전상혁, 김태성(성균관대학교)

We10A-3

열 강화 텅스텐 CMP와 부식 억제제를 통한 고선택비 및 표면 안정성 향상

김현호, 김태성(성균관대학교)

We10A-4

열처리 전기로 효율 개선을 위한 유휴온도 및 스케줄링에 대한 연구

정연태, 서기정, 노현규, 양현민, 안종진, 박지현, 김민성(중앙대학교)

We10A-5

케스케이드형 열플라즈마 용사 토치의 LTE 기반 전산해석

전병륜(한국재료연구원/부산대학교), 민병일(한국재료연구원), 민준기(부산대학교), 박훈관(한국재료연구원)

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